在工業廢水處理和臭氧消毒領域，市場上主流的臭氧發生器有片式、管式和板式臭氧發生器。大型臭氧發生器開始廣泛應用一百多年以來，管式臭氧發生器（DBD放電室結構）一直處于市場主流地位。片式臭氧發生器主要用于小型空間臭氧消毒。板式臭氧發生器近幾年開始越來越被關注。
　　1.臭氧發生器原理
　　管式臭氧發生器的原理：在臭氧發生器內部有一定數目的管焊接在兩個固定管板之間來當作接地電極。電極置于接地管內，每個電極由一個高壓電極、不銹鋼網和一個電介質玻璃管組成。臭氧在接地電極、介電質和高壓電極之間的間隙中產生。
　　板式臭氧發生器的原理：采用電暈放電技術，在高壓電場的強電力作用下，高速運動的電子撞擊氧氣使之分解成氧原子，高速電子具有足夠的動能，通過氧原子、氧分子及高速電子三體碰撞反應形成臭氧。
　　2.板式與管式臭氧發生器的主要技術參數和產品形式對比如下：
      a.管式臭氧發生器 ：
　　臭氧濃度范圍：10-130mg/L
　　占地面積：大
　　基本結構：管式結構
　　生產工藝：罐體容器加工，彎板、吊裝、焊接成型，搪瓷燒結與玻璃管拉伸而成。
　　用途：空間消毒臭氧水，用做水處理。
     b.板式臭氧發生器：
　　臭氧濃度范圍：0-300mg/L
　　占地面積：小
　　基本結構：平板式結構
　　生產工藝：由電子品流水線組裝，加工中心數控機加,隧道爐厚膜電路方式加工導帶電極與保護介質，等離子金屬表面陶瓷處理
　　用途：藥物合成，半導體，ALD、高濃度臭氧水制備等.
　　材質也不同。板式臭氧發生器的電極材料為純銀、純鈦、鋁鎂鈦合金；介質材料為電子級陶瓷；密封材料為氟塑料、海波龍橡膠。